Circulation & Process Thermostat
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Ultratemp (-5 to 60 °C)
프로세스 온도 조절 장치1
Cooling Power : 25.8kW ~ 46.7kW
Heating Power : 35kW ~ 50kW
생명공학 및 제약공학을 위한 -5 ~ 60°C의 고성능 온도 제어
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SEMISTAT
-20 ~ 90 °C의 반도체 산업용 열전 공정 온도 조절 장치1
정전 웨이퍼 척(ESC)의 온도를 동적으로 제어하며 모든 유형의 에칭 공정에 사용가능
LAUDA-Noah POU 열전 온도 제어 시스템은 펠티에 소자에 사용되는 확립된 열 전달 원리를 기반 -
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IN2050PW & IN2560PW
• 자기 유도 측정 원리를 이용한 유량 제어 시스템1
• 미리 방출된 열 전달 액체: 물/글리콜 혼합물
• 사용자 인터페이스를 통해 온도 제어 장치의 설정 및 제어 가능
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Pro (-90'C~250'C)
터치패널 controller 적용 (Command touch panel)1
External application 전용 제품
정밀한 온도 제어 및 안정도 +/-0.01'C
Circulation 기능 탑재 및 Pump Step 설정가능
온도 Program 설정 가능.
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Integral XT (-90~320'C) 1.5~20KW
넓은 사용 가능 온도 범위1
Expansion tank 기본 장착
Magnetic seal pump 사용
External application 전용 제품
온도 Program 설정 가능
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Integral T (-30~150'C)
강력한 순환 Pump 장착1
다양한 range의 cooling power 제품
External application 전용 제품
정밀한 온도 제어 및 안정도 +/-0.05'C
온도 Program 설정 가능. -
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VarioCool (-20~80'C)
강력한 순환 Pump 장착1
다양한 range의 cooling power 제품
External application 전용 제품
정밀한 온도 제어 및 안정도 +/-0.05'C
온도 Program 설정 가능.